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2500℃燒結(jié)爐 3000℃石墨化爐 3200℃超高溫石墨化爐

化學(xué)氣相沉積爐

產(chǎn)品介紹
主要功能
技術(shù)參數(shù)

臥式化學(xué)氣相沉積爐主要用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8、CH4等）為碳源的材料表面或基體的CVD/CVI處理

高溫氣相沉積設(shè)備主要用于關(guān)鍵器件表面涂層的制備，而溫度是影響氣相沉積涂層質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)，目前常規(guī)氣相沉積設(shè)備的使用溫度最高只有2000℃，本項目開發(fā)的氣相沉積設(shè)備使用溫度可達(dá)到2500℃

型號	功率	溫度
Φ300*600	100KW	2500℃
Φ500*1000	200KW	2500℃
Φ800*2000	400KW	2500℃
Φ1500*2500	1000KW	2500℃

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